说明海南代理日本HORIBA流量计质量

特征多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程可变PID功能实现整个范围内的高速响应（秒内）简化气路线无需额外增加调节器，传感器，过滤器稳定控制气体流量，不受上游端及下游端的压力波动影响搭载进气压传感器多种展示%的精度洁净设计-金属隔板，采用不锈钢SUS-L，

抛光面表面处理（标准）轻巧的尺寸SLM内相同的配件尺寸信号兼容模拟式/RS数字式,DeviceNet模式数字信号控制日本HORIBA流量计規格SEC-ZX和SEC-ZX数字式/模拟式质量流量控制器,适用于大smN标称流量.SEC-ZX和SEC-ZX数字式/模拟式质量流量控制器,适用于大smN标称流量.SEC-ZX和SEC-ZXDevicenet质量流量控制器,适用于大smN标称流量.SEC-ZX和SEC-ZXDevicenet质量流量控制器,适用于大smN标称流量.此外，藉由产品材料的技术革新，Z系列全面满足了RHS绿产品的设计要求，为客户提升产品价值。

高性能的Z系列流量计，将带给您更多惊喜。

其中前端的压力控制可减少气路系统的成本，尺寸及复杂度。

全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。

日本HORIBA流量计-SEF-Z质量流量计特征高精度：设定流量值psmn%.MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的，此技术在各控制范围内获得高的控制精度.为了改善各种实际气体种类的控制精度，HORIBASTEC研发了标准的气体测量系统，

并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。

海南代理日本HORIBA流量计质量日本HORIBA流量计-SEC/Z-SEC/Z热感传感器压力钝感质量流量计日本HORIBASEC-Z系列热感传感器，压力钝感质量流量计型号

SEC-ZMGXSEC-MGXSEC-ZMGXSEC-ZMGXSEC-ZMGXSEC-ZMGXSEC-ZMGXSEC-ZMGX概要SEC-ZX系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。